三聖殿前之女眾寮房，改建成兩層鋼筋水泥樓房。次年秋，開山整地，拆除舊有之三聖殿、齋堂、廚房、大雄寶殿、男眾寮房及方丈室等。六十七年春，於大雄寶殿原址上，建三聖殿與兩層寮房，再依山坡地形，建祖師堂；於齋堂原址，復建兩層齋堂及廚房。六十八年啟建新大殿。七十二年大悲樓於新大殿右側山坡下奠基，今大悲樓結構體已近竣工。
民國五十八年，師又於土城鄉公所右後方，創建廣承岩。六十七年，該岩復建華藏塔，其後大雄寶殿、兩廂禪房、地下室、藏經閣、羅漢殿、講堂及上下樓禪房，亦陸續建成，後又翻蓋地藏殿等，完成現今之新貌。廣承岩之建築，由傳斌法師主其事。
七十一年（壬戌）九月，師又派隨侍左右十多年之弟子傳聞法師至高雄縣六龜鄉寶來村，創建「妙通寺」。迄今大雄寶殿、五觀堂、念佛堂、女眾寮房均已落成，行將供師靈骨之「靈山寶塔」亦正興建中。
七十三年七月，師移錫該寺，並於七十四年十月傳授三壇大戒，求戒之四眾弟子，多達數千，並啟建水陸大法會，廣度眾生，盛況空前。
師起居簡樸，平易謙和，縱年近百齡，行不用拄杖，不用人攙，身輕體健，動作敏捷，住則常坐不臥，並時坐於室外，或露天、或廊簷下。食則自七十八歲，改以流質。
七十四年歲末，師以看承天禪寺之大悲樓建築為名，急欲返北，農曆十二月二十五日由傳悔法師南下，二十六日迎師回承天寺，北部四眾聞訊莫不蜂擁以至，次年正月初一清晨，師召集各分院負重任之弟子及承天寺大眾，一一囑咐，並言圓寂後火化，靈骨分別供於承天寺、廣承岩、妙通寺三處。早齋後即示意欲返妙通寺，眾以師意既堅，不敢強留，即送師南下。
師抵妙通寺後，日以繼夜念佛，有時自己親打木魚並囑弟子一起念佛。初五，師瞻視清澈，定靜安詳，毫無異樣。午後二時左右，忽告眾曰「無來亦無去，沒有事」之語，並向徒眾頷首莞爾，安坐閉目。少頃，眾見師不動，趨前細察，乃知師已於念佛聲中，安然圓寂。
綜師一生，貧苦孤露，堅毅篤樸，宿慧萌芽，潛修百苦，卒致徹悟。渡海來台，冥陽兩度，禽獸馴歸，更以禪悅代替火食，歷半生歲月，其昭示修行之典範，踐履頭陀苦行之正則，誠堪與古德共讚。惜以眾生福薄，遽爾示寂。惟願不捨悲智，再駕慈航，廣度群迷，導歸淨土，共成無上菩提，不勝馨香禱祝者也。
廣欽老和尚圓寂贊頌委員會             
中華民國七十五年二月二十八日
師駐錫承天禪寺，自民國四十四年三月起，至七十三年七月，移錫妙通寺止，前後共計三十餘年。民國七十三年春，妙通寺初建，農曆二月大悲法會後，師即去妙通寺，去前示意，每月大悲法會時，即會返山，如是每月台北高雄，兩地奔波。至五月份大悲法會，師雖回山，適逢北部有名的「六三」水災，承天路口的積水，深及腰際，車輛不能通過，參加大悲法會的信眾，只有六七個人，從此以後，承天禪寺的大悲法會，老人即不再返山了。
是年農曆七月，承天寺啟建地藏法會時，老人再返清源。可是沒有等到法會圓滿，在當月中旬，就去妙通寺了。及至十月，老人九十晉三華誕時，又回承天禪寺慶祝，在祝壽佛七中，老人向四眾弟子宣佈了來年傳戒地點，改在妙通寺。（編者補述）