臨終處理除了透過助念的方式之外，還可以使用加持過的「金光明沙」。根據不空三藏翻譯之《毗盧遮那佛大灌頂光明真言經》所記載，持「光明真言」及「六道金剛咒」等，各一百零八遍加持土沙，散於亡者的遺體或骨上及墳士，能幫助亡者除去一切罪障、脫離惡道，往生西方極樂世界。
這種加持的功能，主要來自咒力、願力和心力三種力量的結合。透過這三種力量，轉變被加持者的心念，幫助他安然度過生死的關卡。
金光明沙的使用方法略述於下：
一、採土葬時：
（1）未蓋棺時，依法將金光明沙灑於亡者額頭上。
（2）已蓋棺後，則灑於棺木上之垂直對應於頭部的位置；用膠水先抹於棺木上，再灑金光明沙。
（3）若已埋葬，則灑於墳墓之上；先以少量遍灑墳土，再估計額頭垂直位置，於其上方散灑金光明沙。
二、採火葬時：
（1）、（2）同土葬方式處理。
（3）火葬之後，骨灰置於骨灰罈中，再灑一些於罈中。
除了金光明沙之外，陀羅尼被（往生被）也具有不可思議的大威德加持力。任何眾生在臨命終時，將此陀羅尼被覆蓋其遺體之上，能令亡者消業滅罪，阻擋其過去世一切冤親債主或魔障之尋擾，使其得以身心安樂、順利往生。
最後，除使用金光明沙與往生被之外，一般人在重病時期以及去世四十九天之內，如果家人能茹素並結集為亡者持誦地藏經，或觀音菩薩、彌陀佛之聖號，乃至六字大明咒、六道金剛咒等經、咒、佛號，則更能令其得大利益，令未轉生善道者令其趣往，已轉生善道者增其福德，已往生極樂世界者，並使其蓮品增上，令冥陽兩利，共沐法喜。